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第二十一章 真空镀膜(下)

系统的工作原理。
    陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。
    分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。
    分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。
    这个时间在半小时至一个半小时之间。
    如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。
    一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料袋;
    另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”
    虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
    主要是两个人站一起,一直不互动也蛮尴尬的。
    ……
    一小时后。
    真空计示数达到5.2E-5帕,升温程序也进入第二阶段,一切正常。
    十二分钟后。
    温度示数达到400摄氏度,膜厚仪
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