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第二十一章 真空镀膜(下)

培。
    当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。
    电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。
    蒸镀速率则先是从0.2、0.3迅速提升至3.0,随后迅速回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……
    电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。
    每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18。
    铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃。
    ……
    待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板。
    然后缓缓扭动电位器,将电流归零。
    接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵。
    等待十分钟后,分子泵转速从27000r.p.m.降至0,关闭其开关。
    最后,关闭机械泵,关闭总控台。
    …………
    “终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道。
    “这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清赞叹道。
    “这都是学姐教的好。”许秋道。
    “行啦,别谦虚了,你的科研天
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