475 比自己弱的人都在努力,自己又有什么理由不努力呢?(求订阅)
分子数量就越少。
如果晶振片的位置偏向标准位置的下方,也就是靠近束源炉或者电加热装置,就会导致检测到的蒸镀速率大于实际的蒸镀速率,从而使得实际膜厚偏薄。
很容易理解,假如实际蒸镀速率是0.2埃每秒,显示蒸镀速率是0.4埃每秒,预期蒸镀膜厚是20埃,蒸镀50秒后,按照仪器显示的话,就已经达到了20埃的厚度,但实际上的厚度却只有10埃。
反之亦然。
因此,当下的情况就是在搬运的过程中,可能发生了震动,使得晶振片的位置偏向了标准位置的上方。
出现了问题,就要调整。
现在主要有两种调整方法。
第一种是直接把晶振装置安装到原来的标准位置。
这种方法听起来很简单,但实际上操作起来很麻烦,需要消耗大量的时间去调整、摸索。
首先需要调整一次,蒸镀一次,然后用SEM或其他手段表征测试一次实际厚度,看是否和预测膜厚相符合。
如果符合,就说明调整好了,但一发入魂的概率很低。
大概率是很难一次弄好,这时候就需要反复进行“调整、蒸镀、测试”过程,直到理论和实际相符合。
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